技术编号：11236428
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文描述的主题涉及压力传感器。背景技术微机械设备通常用于产生许多类型的传感器，包括但不限于压力传感器、加速度计、陀螺仪、以及磁力计。随着时间的流逝，消费者继续要求通过将这些传感器合并为组合传感器来降低这类传感器的尺寸、成本、以及电流消耗。然而，不同的制造工艺经常用于制造不同类型的传感器。使用针对每种类型的传感器的不同制造工艺使得集成复杂化。常规的微机械压力传感器通常形成在电子封装体中，所述电子封装体具有在衬底中的空腔之上延伸的膜(亦称为隔膜)，从而使得所述膜与所述衬底共面。膜以上的压力相对于膜以...
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