技术编号:11301903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及空气净化设备领域,尤其涉及一种FFU装置。背景技术空气过滤器是洁净系统中的关键设备,它的性能直接影响洁净系统的洁净度级别和空气净化效果,洁净系统必须选用合适的空气过滤器,并保证其运行可靠。FFU为英文缩写,全称为FanFilterUnits,中文意思为"风机过滤机组"。风机过滤机组,广泛应用在在光电行业,精密电子,液晶玻璃,半导体,手机等领域的千级无尘室,百级洁净室。其中微电子工业是当前洁净室要求最高的行业,大规模和超大规模的集成电路的发展,对微尘控制要求越来越高。而实现这个高洁净...
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