技术编号：11322017
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种精密压电驱动器，特别涉及一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，可应用于显微生物技术、大规模集成电路制造、微/纳显微操作机器人、微机电系统等领域。背景技术近年来，随着科学技术的发展，人类对微观领域的研究越来越深。微机械技术、微/纳米测量技术已经成为现如今高新技术领域的热门，而具有微/纳级别定位精度的压电驱动技术更是这些微/纳加工、微/纳操作、精密光学、航空航天等诸多高尖端技术领域中的核心技术，这些领域迅猛的发展对其核心技术提出了更高的要求。研究人员倾力于研究性能更优异的高精...
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