一种三轴微机械陀螺仪和陀螺仪检测设备的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11332937

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本实用新型涉及陀螺仪技术领域,尤指一种三轴微机械陀螺仪和陀螺仪检测设备。背景技术随着测量技术的发展,终端设备运动的角速度可以通过在该终端设备中配置现有的陀螺仪进行测量。目前终端设备的角速度的测量方式,主要采用的高精度惯性器件的测量方法,即是通过在终端设备中配置激光陀螺仪,框架陀螺仪等高精度惯性器件进行定位测量。上述高精度的惯性器件的陀螺仪通常存在一些的缺点,例如体积偏大,会影响待测量终端设备的便携性,并且高精度的惯性器件的陀螺仪的成本偏高,不利于实现低成本化要求;另外,其他体积偏小的陀螺仪,由于...
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