技术编号：11388116
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置。背景技术以往以来，公知有一种气体供给部，其包括：直管部，其具有至少1个气体供给孔；下端部，其形成于直管部的下端，具有比直管部的直径大的宽度；载置部，其用于载置下端部；盖部，其将下端部固定于载置部，具有在下端部倾斜了时支承下端部的上表面的支承面，在盖部的上表面以与所述直管部之间具有预定间隔的方式形成有缺口，在所述载置部的与下端部接触的接触面形成有导入气体的导入孔(参照例如专利文献1)。在该专利文献1所记载的气体供给部中，通过利用载置部和盖...
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