一种曲面上精密薄膜电路制作方法与流程技术资料下载

技术编号:11413482

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本发明属于混合集成电路技术领域,具体涉及一种曲面上精密薄膜电路制作方法。背景技术随着智能终端、武器装备等向信息化、多功能化发展,有限的空间内需要集成的电子功能模块越来越多,空间越来越拥挤。为了更有效地利用有限的空间,研究人员提出了结构电路一体化的方案,即在结构件、绝缘件、隔离件等等传统上不承载功能电路的地方尽可能的集成功能电路,而这些功能件的表面往往是一个曲面,因此结构电路一体化要求在曲面上制作可靠的电路,传统上基于光刻技术的平面电路制作工艺在曲面上已不再适用。目前,在曲面上制作电路主要有三种方...
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