技术编号：11418519
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光伏领域，更具体的，涉及多晶硅生产系统。背景技术现有电子级多晶硅生产大部分采用改良西门子法，在现有商业化生产装置中，多采用热氢化装置作为整个系统中氢化工序的组成部分。因为还原、尾气回收、热氢化和精馏组成的系统并不能形成闭路循环，需要在生产过程中向系统内补充TCS或STC原料，并排出氯化氢作为副产物。同时，在这类系统中，精馏部分通常较为简单，对于杂质的提纯能力不强，这就要求补充的TCS或STC原料达到电子级的标准，或者需要采用多级精馏或其他方式对本系统中物料进行提纯，这又造成装置投资...
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