技术编号：11446506
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于在部件、带状材料或工具的表面上形成涂层的装置。可以形成不同涂层，所述不同涂层特别形成耐高温、耐磨损或耐腐蚀的层。背景技术到目前为止，还没有任何以连续材料进料(例如，快速运行的钢带状材料)对大表面连续涂覆的良好可控的涂覆方法，其中，通过气相沉积进行涂覆，该方法比常规的涂覆方法具有经济竞争力，并且通过该方法，还可以由高熔点材料形成涂层。因此，几十年来，在用于精加工部件的批处理过程中，使用在负压下工作的气相沉积方法和具有高功能(耐磨损、光学和磁性应用、微电子学)层的工具进行涂覆，例如...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。