技术编号：11448840
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种监视基板的基板监视装置、及基板监视方法。背景技术在平板显示器的制造工序中，使用基板监视装置检测基板的裂纹、缺口，在基板上会形成元件及配线等。基板监视装置具备：从基板上方朝向基板照射激光光线的照射部；以及与照射部相对的摄像部，照射部与摄像部夹着基板设置。摄像部接收透过基板的透过光和不透过基板而到达摄像部的非透过光，基板监视装置依据透过光与非透过光的强度差异检测基板的裂纹、缺口(例如，专利文献1)。【现有技术文献】【专利文献】[专利文献1]日本特开2011-149800号公报发明内容(...
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