技术编号:11449705
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种检测装置,特别是涉及一种束流检测装置。背景技术为了得知束流的形态、电流大小等参数,离子注入机都会设置束流检测装置(profiler),通常束流检测装置设置在束流传输路径的下游靠近注入工位的位置处。一般来说束流检测装置包括束流接收部件和与束流接收部件相连的测试仪表(例如电流表)。如图1和图2所示的是用于太阳能电池制造的离子注入机和集成电路离子注入机中针对带状束流(ribbonbeam,带状束流是指长宽比比较大的束流,束流有长边方向和基本与长边方向垂直的短边方向)的束流检测装置,图...
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