技术编号：11449710
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及离子源，特别涉及离子源放电模块。背景技术离子源放电模块中的陶瓷零件与石英玻璃管需要密封装配，防止放电稀有气体从陶瓷零件通过时泄漏到石英玻璃管外表面，以免与高压电极直接放电，从而造成气体与能量的非预期损失，最终导致离子束强度不够与稳定性变差。目前，解决的技术主要有：1.高温胶装技术：对胶状的工艺要求非常的高，还需要考虑不同材料在超高温度(700摄氏度左右)下的应力集中问题。2.一次封接技术：采用相近热膨胀系数的材料，但是对于陶瓷件与石英玻璃这两种相差一个数量级的材料热膨胀系数的，并且...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。