技术编号:11527935
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种在两个陶瓷部件-特别是压力传感器的部件之间产生连接的方法技术领域本发明涉及一种在两个陶瓷部件-特别是陶瓷压力传感器之间产生连接的方法。背景技术陶瓷压力传感器包括基体和测量膜,其中测量膜通过活性钎焊料接合。用于接合由金刚砂制成的陶瓷部件的适当的活性钎焊料例如为Zr-Ni-Ti合金,因为关于其热膨胀系数方面可以与金刚砂相配。该活性钎焊料在欧洲专利EP0490807B1中公开。专利文献EP0558874B1公开了一种生产由该活性钎焊料制成的环的方法;为了连接测量膜和基体,由活性钎焊料制成的环作为垫...
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