技术编号:11528959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于平板显示器等的金属层叠膜用的蚀刻液组合物及使用该组合物的蚀刻方法。背景技术对于平板显示器等显示器件的布线材料,探讨了作为低电阻材料的铜和铜合金。然而,铜与玻璃等的基板的密合性不足以及铜向硅半导体膜的扩散成为问题。于是,为了提高布线材料与玻璃基板的密合性并防止向硅半导体膜的扩散,探讨了设置钼层作为阻隔膜。含铜或铜合金的层叠膜以抗蚀层作为掩模进行蚀刻,形成布线或电极图案。蚀刻中所要求的性能是铜布线端部的蚀刻面与下层的基板所成的角度(圆锥角)为30~60°的正圆锥形状、抗蚀层端部至设于布...
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