技术编号:11579663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及三轴电容式加速度计技术领域,更为具体的说,涉及一种三轴电容式加速度计及电子装置。背景技术基于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical-System)加工制作的微型加速计因其体积小、成本低、集成性好、性能优良等诸多优点已在工业,医疗,民用,军事等非常广泛的领域得到了越来越多的应用。目前,在各类移动终端、相机、游戏手柄、导航仪等产品的应用中,在一定程度上,已经成为标准配置。在研制过程中,电容式,电阻式,压电式作为检测加速度的方式是主要应用的机理,其中,电容式加...
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