技术编号：11583011
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种复合薄膜及其镀膜方法，尤其是一种基于类金刚石薄膜的增厚型复合薄膜及其镀膜方法。背景技术类金刚石薄膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜，碳原子间主要以sp3和sp2杂化键结合，性能接近于金刚石，类金刚石具有和金刚石几乎一样的特性，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，因而通过气相沉积工艺获得的类金刚石薄膜在众多有耐磨、硬度要求的零件上得到广泛应用。然而，无论是在什么样的零件上使用，一般来说，在满足零件尺寸要求的前提下，涂层...
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