技术编号：11589164
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及一种光罩检测装置及其方法，尤其是涉及一种可对光罩的框架上的防尘膜进行微粒检测，且通过测距后升降调整的方式，对各检测区域精准采集检测影像，以对应产生防尘膜高度信息及检测信息的光罩检测装置及其方法。背景技术就现有的半导体组件制造技术来说，半导体组件的电路图案是通过光罩将电路图案转印至晶圆的表面上形成的。换言之，由于半导体组件的微小化，在制造半导体组件的过程中，光罩的缺陷将会大大影响硅晶圆表面之电路图案的质量，例如造成电路图案之扭曲或变形；而，目前最常见的造成光罩缺陷的原因在于光罩的表面附...
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