技术编号：11621831
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于成膜速率检测技术领域，具体涉及一种成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法。背景技术有机发光二极管(OLED)显示面板具有可视度大、亮度高、电压需求低、能耗省、响应快、厚度薄、构造简单、重量轻、成本低等优点，故被广泛应用。OLED显示面板的性能与其中结构的膜厚密切相关，而许多结构是通过蒸镀工艺制备的，故其膜厚由成膜速率(蒸镀速率)和成膜时间决定。为此，在蒸镀过程中检测成膜速率对保证产品性能十分重要。为检测成膜速率，可在蒸镀腔室中设置可振动的成膜速率传感器，蒸镀时成膜速率传感器上也成...
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