技术编号：11632734
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在对表面具有结晶性的金属化合物的研磨对象物进行研磨的用途中使用的研磨用组合物、及使用其的基板的制造方法。背景技术作为光学器件用基板材料、功率器件用基板材料，例如已知有氧化铝(例如蓝宝石)、氧化硅、氧化镓、及氧化锆等氧化物、氮化铝、氮化硅、及氮化镓等氮化物、以及碳化硅等碳化物。由这些材料形成的基板或膜通常相对于氧化、络合、蚀刻等化学作用稳定，因此基于研磨的加工不容易。因此，基于使用了硬质材料的研削、切削的加工较普遍。但是，基于研削、切削的加工不能得到具有高平滑性的表面。出于获得更高平滑的...
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