技术编号：11633122
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于蒸镀装置、蒸镀方法及有机电致发光(ElectroLuminescence，以下缩写成EL)元件的制造方法。更详细地说，是关于适用于大型基板上的有机EL元件的制造的蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL元件的制造方法。背景技术近年，各式商品或领域中平板显示器被活用，持续追求平板显示器进一步大型化、高画质化及低耗电量化。在这样的状况下，具备有利用有机材料电致发光的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固态型且低电压驱动、高速响应性、自体发光性等优异特点的平板显示器引起高度注目。有机EL显示装置具备...
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