技术编号：11679496
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体技术，特别涉及一种薄膜晶体管(TFT)阵列基板的制造方法。背景技术平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)及有机电致发光器件(OrganicElectroluminescenceDevice，OELD)，也称为有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)。平板显示装置中，薄膜晶体管(TFT)常用作像素电极的开关元件。一般而言，TF...
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