技术编号：11684088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及MEMS惯性组合导航技术领域，更具体地，涉及一种MEMS惯性组合测量模块。背景技术目前，MEMS惯性传感器被广泛应用于航空、航天、航海、汽车工业、机器人及消费电子产品等领域。MEMS惯性传感器主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计，用于测量载体的角速度和加速度。按照精度划分，MEMS惯性传感器可分为低精度和中高精度。低精度MEMS惯性传感器依靠其超高的集成度设计，将三轴陀螺仪、三轴加速度计封装在一个单体芯片内，体积不到十立方毫米，广泛用于手机、可穿戴设备等消费类电子产品。但低精度...
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