技术编号：11707489
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片检测技术，具体涉及一种用于硅片检测的硅片处理装置。背景技术少数载流子寿命(简称少子寿命)是半导体晶体硅材料的一项重要参数，它对半导体器件性能、晶体硅太阳能电池的光电转换效率都有重要的影响。当载流子连续产生时，在太阳能电池中，寿命决定了电子和空穴的稳定数量，这些数量决定了器件产生的电压，因此，要求使用的硅材料的晶体硅体少子寿命应该尽可能高。现有的测试晶体硅体少子寿命的方法主要有化学钝化法，其具体测试方法如下：1)将经过去损伤层处理后的硅片在常温下用去离子水稀释的氟化氢溶液漂洗，去...
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