技术编号：11722854
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种阻蒸器用阻蒸台，具体是指一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台。背景技术阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。阻蒸台是阻蒸器中用于对靶材加热的组件，目前多采用的阻蒸台为一位式阻蒸台，这种阻蒸台只能对一种靶材进行加热，对不同的靶材进行加热时，则需要对蒸发舟进行清理后重新放置需加热的靶材，而不能连续的对不同的靶材进行加热，很大程度上降低了阻蒸器的工作效率。因此，提高一...
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