一种纵向型氮化镓基半导体器件及制造方法与流程技术资料下载

技术编号:11730928

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本发明涉及一种氮化镓半导体器件,尤其涉及一种纵向型的氮化镓基的垂直器件。背景技术第三代半导体材料,包括:硫化镉(CdS)、氧化锌(ZnO)、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、金刚石等。这些半导体材料的禁带宽度都大于2.2eV,在电子器件方面,对SiC和GaN研究得相对比较成熟,是目前世界半导体材料和器件研究领域中的热点。GaN禁带宽度是3.4eV,宽禁带使GaN材料能够承受更高的工作温度,也使GaN材料有更大的击穿电场,更大的击穿电场意味着器件能够承受更高的工作电压,可以提高器件的功率特性,G...
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