技术编号：11768064
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体生产线的金属薄膜蒸发技术领域，特别是涉及一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法。背景技术在蒸发台熔料时的现有的操作方式是：操作人员旋开观察窗，打开高压和电流产生束斑后，需要一边观察束斑位置，一边扭头去调节功率和位置旋钮，为了防止电子束打偏，落到坩埚上，作业员需要来回频繁地挪动位置以便观察束斑和调节旋钮，尤其在新增了金属片之后，就需要不停地一下子靠近观察窗旋开观察窗挡板，一下子又远离观察窗去调节旋钮。导致操作员比较忙碌，而且容易将位置调偏出错，并且长时间连续调节旋钮后，操作员的手臂已经疲...
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