技术编号：11768069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及热化学沉积。更具体而言，本发明涉及扩散速率受限的热化学气相沉积涂层(diffusion-rate-limitedthermalchemicalvapordeposition)。背景技术反应速率受限的热化学气相沉积(“CVD”)能够用于产生具有优异性能的可应用于大量材料的涂层。然而，反应速率受限的热CVD会产生不想要的装饰效果和/或不一致性。例如，使用加工珠为一种产生反应速率受限的热CVD涂层的技术。所述珠可导致不一致的厚度，例如产生珠斑和/或不同的染色。同样地，高浓度的分解用气体在大于...
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