技术编号:11793910
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种调节锁紧装置。背景技术在粗微动结合的工件台系统中,微动模块的动子部分用于承载硅片,其定子部分与粗动模块固联。通常,微动模块由微动电机来驱动其六个自由度的运动。微动电机的动子部分(磁铁部分)与微动模块固联,其定子部分(线圈部分)与粗动模块固联。由于微动电机的特殊结构,在微动结构的安装与拆卸过程中,需要将微动电机的动子和定子整体装卸。对于微动电机定子与微动底板的锁紧与拆卸,具有一定的方位和空间限制。发明内容为了克服现有技术中存在的缺陷,本发明提出一种高...
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