技术编号:11806117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于形成二氧化硅层的组成物、用于制造二氧化硅层的方法、二氧化硅层以及电子装置相关申请的交叉引用本发明要求2015年5月15日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2015-0068120号的优先权和权益,其全部内容以引用的方式并入本文中。技术领域本发明涉及一种用于形成二氧化硅层的组成物,一种用于制造二氧化硅层的方法,以及一种根据所述方法制造的二氧化硅层以及电子装置。背景技术平板显示器使用包含栅极电极、源极电极、漏极电极以及半导体的薄膜晶体管(thinfilmtransistor,TFT)作为...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。