技术编号：11814982
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。包含具有邻近于源极边缘的源极触点的存储器阵列的设备优先权申请案本申请案主张2014年3月7日提出申请的美国申请案第14/200,348号的优先权的权益，所述美国申请案以其全文引用的方式并入本文中。背景技术随着半导体工业的发展，三维(3D)半导体装置由于其经增加存储能力而越来越有吸引力。在3D存储器装置中，通常使用包含源极触点的互连层来对源极进行布线。一些存储器装置可包含存储器阵列内部的源极触点。然而，存储器装置的存储器阵列中的大量源极触点可使存储器阵列的效率降级且导致大裸片大小及高制造成本。附图...
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