技术编号：11836379
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及卷对卷溅射系统，更详细而言，涉及一种使得不仅能够以卷对卷驱动方式，把包括Ag、Ni/Cr、SUS等的功能性金属在多样的胶片上沉积(或涂布)成薄膜形态，而且能够稳定地连续生产制品并提供高品质的胶片的卷对卷溅射系统。背景技术一般而言，卷对卷溅射系统是在真空状态下，使离子在胶片的表面沉积成薄膜的装置，如此沉积了金属离子的胶片用作显示装置、太阳能电池模块、触摸面板、玻璃窗的涂布用。就所述卷对卷溅射系统的构成而言，构成能实现真空状态的腔，在所述腔的上部构成供卷绕的胶片展开的重绕辊，还构成滚筒...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。