一种柔性照明器件的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11837212

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本发明涉及照明技术领域,具体涉及一种柔性照明器件。背景技术目前柔性照明的寿命偏低,因发光材料只能承受100℃左右的工艺温度,而低温制作顶层的薄膜封装工艺难度较大,良率低,成本高,效果差。现有的薄膜封装方式及缺点如下:采用有机和无机叠层组合方式,此方式效果较好,缺点是封装工艺时间长,且成本高;若采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)方法,其封装工艺温度太高,难以实现低温化;若采用ALD(原子层沉积)方法,则易导致腔室内壁严重污染。发明内容为此,本发明为了实现长寿命的柔性薄膜封装和照明,使封装...
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