一种强流离子源用弧电源的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11846999

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本发明涉及弧电源,尤其涉及一种强流离子源用弧电源。背景技术离子源用弧电源在引出高压电源系统投入或打火时刻需要进行弧打坑操作,即需要在引出高压电源系统投入或打火时刻,首先将弧电流迅速下降到一定程度并维持指定时间段后,再迅速上升恢复至正常的弧电流,电流下降的程度即为打坑深度,电流下降后维持的时间即为打坑宽度。如果电源系统有足够大电流变化率di/dt,则有利于实现系统的快速反应,进而能够适应前述打坑操作的要求,但是目前的现状是弧电源的di/dt不够大,这样一方面影响了系统的反应速度,使得实现对大功率电...
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