技术编号:11891410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于对象检验的可变图像场曲率相关申请案的交叉参考本申请案主张2014年3月25日申请的第61/969,981号美国临时专利申请案的优先权,所述美国临时专利申请案的揭示内容特此以全文引用的方式并入本文中。技术领域本发明涉及对象的检验,且更特定来说,涉及在对象的检验期间修改场曲率。背景技术例如半导体晶片的晶片可变为弓状。此使晶片的表面呈现为弯曲的(即,非平面)。举例来说,弓状晶片的表面上的点可相对于表面的圆周从参考平面偏离。此类弓起可为晶片处理的结果或作用于晶片的应力或应变的结果。举例来说,晶片上的...
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