技术编号：11892132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种共轭烯烃的制备方法，尤其涉及一种六氟-1,3-丁二烯的制备方法。背景技术六氟-1,3-丁二烯是一种新型的干蚀刻气，具有优良的蚀刻性能，主要用于半导体蚀刻领域，如用于含Cu和低K介电常数的整流线路板生产用的刻蚀时，关键尺寸的精度能够达到100nm，有着比其他刻蚀气更好的选择性和深宽比。此外，六氟-1,3-丁二烯还具有优异的环境性能，其大气存在时间仅1.9d，具有较低的GWP值，相比经典的蚀刻气C3F8和c-C4F8，六氟-1,3-丁二烯在刻蚀过程中所排放的GWP分别降低了80％和82...
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