基于入瞳扫描调制ePIE相位恢复算法的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11910454

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本发明属于光学检测领域,具体涉及一种基于入瞳扫描调制ePIE相位恢复算法。背景技术迭代相位恢复算法已经被广泛用于从测量得到的衍射强度中恢复待测样品的像。近年来,传统的利用透镜的迭代相位恢复算法已经取得了很大的进步。为了摆脱透镜的限制,一些改进的算法也被提出,比如C.T.Putkunz等,在《Atom-scaleptychographicelectrondiffractiveimagingofboronnitridecones》一文中提出的扫描衍射法,以及P.Thibault等在《Maximum-...
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