技术编号：11916701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光电领域，具体涉及一种电热式MEMS振镜扫描装置的封装模组。背景技术现有的结构光扫描模组大都采用静电/电磁式振镜扫描的方式获得物体的三维结构信息。其扫描角度和扫描位置相对比较固定，不便于对特定区域进行定点定位扫描。实用新型内容为了解决上述实用新型问题，本实用新型提供了一种电热式MEMS振镜扫描模组，实现现有扫描模组全画幅扫描功能的同时，也解决了现有激光扫描模组扫描区域固定，扫描角度较小的问题。技术方案表现为，一种电热MEMS振镜扫描模组，包括基座112及罩扣在基座112的外壳108...
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