技术编号:11937639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电弧离子镀技术,更具体地说,涉及一种耐磨涂层的制备方法。背景技术硬质涂层作为一种重要的防护涂层,以其优异的摩擦学性能和抗腐蚀性能被广泛地应用于切削刀具和齿轮等机件的表面的防护。工业上,电弧离子镀技术作为一种典型的物理气相沉积技术,因其高离化率,高沉积速率,操作简单等优点,被广泛应用于硬质涂层的制备。这种技术在基片上形成硬质薄膜,但得到的硬质薄膜的残余应力一般是压应力,而且数值往往很大,甚至高达-17GPa,过大的残余压应力可使硬质薄膜从基片上脱落,或使其翘曲、鼓包。现已提出多种方法来抑...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。