技术编号：11985963
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及压力传感器。具体地，本公开涉及具有过压保护的压力传感器。背景技术在许多压力传感器中，柔性膜片响应于施加在膜片顶部上的压力而相对于基部移动。响应于施加的压力提供可重复的单向移动的膜片是优选的。由于晶体膜片响应于施加的压力提供单向移动并且通常没有滞后效果，因此，诸如由晶体硅制成的晶体膜片已被广泛采用。不幸地，具有这种晶体结构的传感器具有受限的过压能力，并且在传感器膜片上的过大的压力可能导致超过晶体结构的最大断裂强度的大的张应力。这种传感器的失效是趋于灾难性的，常常导致完全破碎的结构。实用新...
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