技术编号：12056974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氧化物薄膜电学性能的优化方法，具体地说是涉及一种超薄镍酸镧(LaNiO3)薄膜电输运性能的优化方法。背景技术镍酸盐族氧化物具有优良的导电性能和化学稳定性能，其薄膜材料可用作铁电微器件的底电极，在微电子学、光电子学和硅读出电路的电子元器件等研究领域具有广阔的应用前景。在镍酸盐族中，在全温区表现为金属特性的镍酸镧（分子式LaNiO3）具有较低的电阻率和泡利顺磁等特性，被广泛用于铁电存储器件和多层驱动器的电极、缓冲层或过渡层材料。在存储器件中，LaNiO3薄膜的界面效应能够有效防止氧空位...
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