技术编号：12069272
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子体特性诊断技术，一种等离子体空间特性诊断装置。背景技术等离子体诊断技术分为主动式和被动式，主动式诊断技术即使用主动的电磁波、粒子束或探针、探头浸入到等离子体中，在等离子体环境中收集相关的特性数据，通过相应的数据处理方法获得等离子体信息；被动式诊断技术不主动浸入到等离子体中，而是在诊断过程中通过接收待分析等离子体发射的电磁波或粒子束，从而获取等离子体信息。通过对等离子体的特性诊断，可以为优化等离子体工艺参数、改进等离子体设备等提供实验数据，可使等离子体装置更高效、优异地完成工作。通...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。