技术编号：12120708
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于分光路偏振调制的透射型偏振像差补偿装置，可实现光线经过光学系统后偏振像差的自动补偿，属于偏振光学技术领域。背景技术对于所有光学系统在非正入射的情况下，都存在偏振像差，即同一出射波前上的不同位置处的偏振态也不同，若系统包含多个光学介质分界面，各个介质分界面的偏振像差累积到像面会产生一定的偏振效应，严重时会影响系统的正常工作。如高数值孔径显微系统、光刻投影系统或激光谐振腔系统等其他偏振敏感系统，为了保证或提高系统的工作性能，对系统自身偏振特性都具有严格的要求。因此，除了在系统设计阶...
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