技术编号：12162109
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种硅片边角磨光器。背景技术切割后的硅片边角会有各种毛刺，尽管所占面积很小，如果不做处理可能会影响到后续的工艺，同时也容易伤人，现有磨光设备一般都是固定式，位置不能自由移动，这对于较薄的硅片边角进行磨光极不方便，很容易造成硅片裂片。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有的技术缺陷，提供一种硅片边角磨光器。本实用新型所要解决的技术问题采用以下的技术方案来实现：一种硅片边角磨光器，包括磨盘，底板，第一电机，第二电机；所述底板上有滑槽，转轴穿过滑...
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