技术编号：12165015
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅棒的制造技术，更详细而言，涉及用于防止通过CVD反应使多晶硅在硅芯线上析出时的硅芯线的破损、翻倒等从而能够进行稳定的多晶硅棒的制造的技术。背景技术作为成为半导体制造用的单晶硅基板、太阳能电池制造用的硅基板的原料的多晶硅的制造方法，已知有西门子法、UnionCarbide歧化法。不言而喻，西门子法是通过使含有氯硅烷的原料气体与加热后的硅芯线(硅引丝(シリコンスタータフィラメント))接触并通过CVD反应使多晶硅在该硅芯线的表面上气相生长的方法。UnionCarbide歧化法是以含有单...
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