一种分光器及其光谱仪的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12173401

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本发明是有关一种光谱仪及其分光器,特别是一种微型分光器及其微型光谱仪。背景技术传统的光谱仪通常是采用棱镜、光栅或干涉组件等分光器以实现色散效果,但必须在整体体积与光谱解析能力之间互相妥协。因此,传统的高分辨率光谱仪因为其光学系统庞大、复杂而较为昂贵。其中,棱镜型光谱仪因为结构体积较为庞大,较不符合微型化光谱仪的需求;干涉型光谱仪虽具有较佳的解析能力,但其光学设计的复杂需求较不利于光谱仪的微型化设计。综上所述,如何实现微型、高解析以及低成本的光谱仪便是目前极需努力的目标。发明内容本发明提供一种分光...
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