技术编号：12248907
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于控制技术领域，尤其涉及一种双循环温湿度控制系统。背景技术随着IC(IntegratedCircuit，集成电路)电路行业的迅猛发展，集成电路的集成度逐步提高，对掩模制版行业的要求越加严格。影响掩模制版工艺的环节较多，除了设备本身的工艺水平需要达到生产所需要求以外，温湿度控制成为决定工艺水平的关键因素。近几年净化厂房温湿度控制领域得到快速发展，空调系统构造方式不断改变，控制理论和方法不断创新。掩模行业的净化厂房的温湿度控制相比一般的电子行业净化厂房有着严格的要求，需精密控制温湿度的基准值...
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