一种分析电子级混合气组分含量的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12255543

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本实用新型涉及一种分析电子级混合气组分含量的装置。背景技术电子级混合气(Electrongasmixture),指含有两种或两种以上有效组份,或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。是工程上常用的工质,或常被当作理想气体研究。目前在对电子级混合气组份进行分析时,存在以下问题:1、电子级混合气的性质多为易燃易爆,与空气接触会立即自燃,造成事故;2、电子级混合气中组分与氧气反应后会生成固体颗粒,会导致管道部件堵塞和损坏;3、有些电子级混合气组分含量为ppm级别,常规取样时容易受到空气的稀释干扰;...
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