技术编号：12257423
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种电源，具体涉及一种介质阻挡放电等离子体处理有机废气的大功率高压电源。背景技术高压电源，又名高压发生器，一般是指输出电压在五千伏特以上的电源，一般高压电源的输出电压可达几万伏，甚至高达几十万伏特或更高。高压电源用途很多，主要包括了X光机高压电源，激光高压电源，光谱分析高压电源，无损探伤高压电源，半导体制造设备高压电源，毛细管电泳高压电源，无损检测高压电源，半导体技术中的粒子注入高压电源、物理汽相沉积高压电源,纳米光刻高压电源，用于离子束沉积、离子束辅助沉积、电子束蒸发、电子束焊接...
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