技术编号：12332274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。应用压电元件的微型工作台背景技术1、技术领域本发明一般涉及应用压电元件的微型工作台(microstagesusingpiezoelectricelements)，更具体的，涉及能够可靠操作的应用压电元件的微型工作台，甚至在真空条件下。2、相关领域说明通常，压电元件被用作具有微米级、纳米级或者更高级别精度的工作台的执行器。这样的压电工作台具有高精度，并且通常用于需要纳米级或者更高级别精度的微小移动时。同时，工作台的应用被限制在真空环境中。例如，在真空中，应用旋转驱动马达的工作台的使用会被限制，这是...
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