技术编号：12338696
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有减少的接触面的微机械部件，以及它的制造方法。更具体地，本发明涉及这样一种部件，所述部件是通过将材料片微加工而形成的。背景技术瑞士专利698837披露了通过将非结晶或结晶材料(如晶体硅或多晶硅)的晶片微加工而制造钟表部件。这种微加工通常是通过深反应离子蚀刻(也以“DRIE”的缩写为人所知)来实现的。如附图1至附图3所示，已知的微加工方法包括在基体3上构建掩模1(参见附图1，步骤A)，继之以“博世(Bosch)”深反应离子蚀刻，所述深反应离子蚀刻连续结合了蚀刻阶段(参见附图1，步骤B、...
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