技术编号：12356559
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。双通干涉测量编码器系统本申请是申请日为2012年11月8日、申请号为201280066526.9、发明名称为“双通干涉测量编码器系统”的发明专利申请的分案申请。背景技术在一些情况下，干涉测量系统基于光学干涉信号监控测量对象的相对位置的改变。例如，干涉测量仪通过利用第二光束(有时称作“基准光束”)叠加和干涉从测量对象反射的测量光束来生成光学干涉信号，其中测量光束和基准光束源自于公共源。测量对象的相对位置的改变对应于所测量的光学干涉信号的相位的改变。这种干涉测量系统的一个例子是通过跟踪被称作编码器刻...
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